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超高精度直接驅動垂直線性平移臺通過在經過驗證的 XMS 設計中添加平衡機構，實現超精密垂直運動。在所有垂直平移臺中，XMS-V 具有最佳的 MIM 和雙向重復性，且速度最快。 超高性能的垂直平移臺，具有出色的精度、重復性和 MIM 非接觸直接驅動系統，可平衡超精密、高動態運動和可靠操作 超大型無鐵心高效率線性電機可最大限度地減少發熱
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